南京晶能半导体申请具备水冷下轴升降旋转机构的单晶炉专利,有效降低坩埚中硅液的氧含量
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2026-01-27 01:10:57
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国家知识产权局信息显示,南京晶能半导体科技有限公司申请一项名为“一种具备水冷下轴升降旋转机构的单晶炉”的专利,公开号CN121381152A,申请日期为2025年11月。

专利摘要显示,本发明公开了一种具备水冷下轴升降旋转机构的单晶炉,包括坩埚轴和石墨托杆,所述坩埚轴和石墨托杆内部中空,所述水冷下轴升降旋转机构包括水冷芯管、水冷旋转接头和升降驱动装置,所述水冷芯管设置于坩埚轴和石墨托杆内部,坩埚轴和石墨托杆通过连接件固定连接,所述水冷芯管穿过坩埚轴内部及坩埚轴与石墨托杆的连接处至石墨托杆内部,所述水冷旋转接头与水冷芯管连接,用于水冷芯管的进水和回水,所述水冷芯管与坩埚轴、石墨托杆同轴旋转,所述升降驱动装置用于驱动水冷芯管升降。通过在石墨托杆内及石墨托杆连接件内安装水冷芯管,实现对石墨托杆降温,从而螺钉因温度低不被咬死,有效降低坩埚中硅液的氧含量,提高晶体品质。

天眼查资料显示,南京晶能半导体科技有限公司,成立于2015年,位于南京市,是一家以从事非金属矿物制品业为主的企业。企业注册资本2000万人民币。通过天眼查大数据分析,南京晶能半导体科技有限公司参与招投标项目1次,财产线索方面有商标信息3条,专利信息52条,此外企业还拥有行政许可5个。

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来源:市场资讯

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