新松半导体申请晶圆搬运机器人碰撞检测方法专利，实现高效精确的碰撞检测_资讯

新松半导体申请晶圆搬运机器人碰撞检测方法专利，实现高效精确的碰撞检测

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2026-01-26 20:12:09

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国家知识产权局信息显示，沈阳新松半导体设备有限公司申请一项名为“一种晶圆搬运机器人的碰撞检测方法及系统”的专利，公开号CN121374557A，申请日期为2025年9月。

专利摘要显示，本发明属于半导体制造安全控制技术领域，具体说是一种晶圆搬运机器人的碰撞检测方法及系统，接收机器人轨迹规划模块输出的关节角度序列及高度坐标；通过正向运动学求解器计算机械臂各节点的笛卡尔坐标；利用点区域判断与线段区域检测算法，优先校验节点是否位于预定义安全区域；对位于安全区域外的晶圆执行区域化晶圆碰撞检测；若未发生晶圆碰撞，则为风险连杆构造定向包围盒OBB；检测OBB顶点是否越界，并对OBB各边与对应区域的腔室边界线段进行线段相交检测；最终输出碰撞判定结果，由机器人控制系统决策是否执行运动。本发明通过多级检测机制与高度自适应截面选择，实现了高效、精确的碰撞检测，具备高实时性、低成本、易集成等优点。

天眼查资料显示，沈阳新松半导体设备有限公司，成立于2023年，位于沈阳市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本28000万人民币。通过天眼查大数据分析，沈阳新松半导体设备有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目1次，财产线索方面有商标信息1条，专利信息51条。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

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