华芯半导体申请等离子刻蚀机磁场极性监测系统专利，提高了恒流源设备输出的精确度_资讯

华芯半导体申请等离子刻蚀机磁场极性监测系统专利，提高了恒流源设备输出的精确度

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2026-01-26 12:43:02

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国家知识产权局信息显示，深圳市华芯半导体装备技术有限公司申请一项名为“一种应用于等离子刻蚀机的磁场极性监测系统”的专利，公开号CN121394279A，申请日期为2025年12月。

专利摘要显示，本发明提供一种应用于等离子刻蚀机的磁场极性监测系统，涉及磁场极性监测技术领域，用于监测磁场极性是否成功切换，磁场极性监测系统包括控制器、线圈和恒流源设备，控制器被配置为向电源输出电路发送磁场极性切换指令；电源输出电路被配置为向线圈输出目标驱动信号；线圈被配置为响应于目标驱动信号，在刻蚀腔内切换磁场极性；极性监测电路被配置为监测电源输出电路输出的目标驱动信号，并根据目标驱动信号和磁场极性切换指令向控制器反馈磁场极性切换结果。本申请通过增加极性监测电路，可以实现恒流源设备输出磁场极性的主动监测，提高了恒流源设备输出的精确度，提高了线圈的工作效率，也提高了恒流源设备和线圈运行的安全性。

天眼查资料显示，深圳市华芯半导体装备技术有限公司，成立于2022年，位于深圳市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本2650万人民币。通过天眼查大数据分析，深圳市华芯半导体装备技术有限公司共对外投资了3家企业，财产线索方面有商标信息14条，专利信息21条，此外企业还拥有行政许可5个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

企业投资等离子监测精确度提高了磁场极性华芯专利电路恒流源线圈

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