智慧星空申请光阑装置及光刻设备专利,实现相邻光阑盘透光孔投影的非重叠
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2026-01-26 11:44:32
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国家知识产权局信息显示,智慧星空(上海)工程技术有限公司;广东星空科技装备有限公司申请一项名为“光阑装置及光刻设备”的专利,公开号CN121276892A,申请日期为2025年9月。

专利摘要显示,本申请公开了一种光阑装置及光刻设备,属于光学仪器技术领域,本申请提供的光阑装置包括支撑结构;至少两个光阑盘同轴设置,至少两个光阑盘均绕同一中心轴线转动支撑于支撑结构上,每个光阑盘上均开设有多个沿中心轴线的延伸方向贯穿的透光孔;其中任意相邻的两个光阑盘的透光孔沿中心轴线的延伸方向的正投影具有非重叠区域。

天眼查资料显示,智慧星空(上海)工程技术有限公司,成立于2021年,位于上海市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本25000万人民币。通过天眼查大数据分析,智慧星空(上海)工程技术有限公司参与招投标项目40次,财产线索方面有商标信息7条,专利信息91条,此外企业还拥有行政许可14个。

广东星空科技装备有限公司,成立于2021年,位于广州市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本29367.6767万人民币。通过天眼查大数据分析,广东星空科技装备有限公司共对外投资了2家企业,财产线索方面有商标信息7条,专利信息66条,此外企业还拥有行政许可8个。

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来源:市场资讯

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