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新凯来申请晶圆温度测量专利，提高晶圆温度测量的准确性

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2026-01-25 13:15:35

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国家知识产权局信息显示，深圳市新凯来工业机器有限公司申请一项名为“一种温度计、晶圆温度测量装置、方法和半导体设备”的专利，公开号CN121230885A，申请日期为2025年9月。

专利摘要显示，本发明提供一种温度计、晶圆温度测量装置、方法和半导体设备，涉及半导体制造领域。温度计中包括正交偏振元件、第一探测器、第二探测器和处理器。第一探测器用于采集经过晶圆后的第一光束的第一信号强度；第二探测器用于采集到达第二探测器的第二光束的第二信号强度；其中，第二光束为第一光束经过正交偏振元件后的光束。处理器分别与第一探测器和第二探测器连接，基于第一信号强度和第二信号强度得到第一探测器接收到的测量光束的透射强度，并根据测量光束的透射强度得到晶圆温度，避免了加热灯的辐射信号、加热灯的透射信号以及晶圆的辐射信号对测量光束的透射强度的干扰，减小或消除了测温死区，提高了晶圆温度测量的准确性和透射测温的上限。

天眼查资料显示，深圳市新凯来工业机器有限公司，成立于2022年，位于深圳市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本108140万人民币。通过天眼查大数据分析，深圳市新凯来工业机器有限公司共对外投资了4家企业，参与招投标项目18次，财产线索方面有商标信息20条，专利信息188条，此外企业还拥有行政许可14个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

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