江苏容导半导体申请易分解固态前驱体输送装置及输送方法专利,保证了蒸汽的纯度
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2026-01-24 17:40:31
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国家知识产权局信息显示,江苏容导半导体科技有限公司申请一项名为“一种易分解固态前驱体输送装置及输送方法”的专利,公开号CN121380905A,申请日期为2025年10月。

专利摘要显示,本发明涉及一种易分解固态前驱体输送装置及输送方法,包括瓶体,瓶体内设置有第一腔体与第二腔体,第一腔体与第二腔体沿竖直方向设置,第二腔体设置于第一腔体的下方,第一腔体的底部设置有供固态前驱体流入第二腔体内的通道,第一腔体用于放置待升华的固态前驱体,第二腔体用于对流入的固态前驱体进行加热升华,瓶体上设有与第一腔体连通的进料口,以及与第二腔体连通的出料管,出料管的进料端设置于第二腔体内,第二腔体的底部中央与底部边缘在竖直方向上错位设置。将存储功能与升华功能分离,避免了热源对大量固态前驱体的长时间加热,保证了蒸汽的纯度。错位设置使得物料受热更加均匀,避免了物料因受热不均而发生变性。

天眼查资料显示,江苏容导半导体科技有限公司,成立于2022年,位于无锡市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本7973.4947万人民币。通过天眼查大数据分析,江苏容导半导体科技有限公司共对外投资了2家企业,参与招投标项目11次,财产线索方面有商标信息9条,专利信息22条,此外企业还拥有行政许可14个。

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来源:市场资讯

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