芯恩取得半导体清洁装置专利，减少半导体清洁刷使用后残留物落到晶圆上产生的不良问题_资讯

芯恩取得半导体清洁装置专利，减少半导体清洁刷使用后残留物落到晶圆上产生的不良问题

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2026-01-23 13:41:29

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国家知识产权局信息显示，芯恩（青岛）集成电路有限公司取得一项名为“一种半导体清洁装置”的专利，授权公告号CN223819192U，申请日期为2025年2月。

专利摘要显示，本实用新型提供一种半导体清洁装置，其中晶圆运输结构用于移动托举限位并驱动晶圆旋转运动，清洁刷转移臂用于移动半导体清洁刷；清洁片与放置台可拆卸固定连接用于去除半导体清洁刷上的残留物。本实用新型通过设置清洁片清洗半导体清洁刷，减少半导体清洁刷使用后残留物落到晶圆上产生的不良问题；同时与半导体清洁刷zeta电位相反的清洁片使半导体清洁刷靠近清洁片时利用静电力将半导体清洁刷使用后的残留物吸附到清洁片上进行自清洁，进一步避免半导体清洁刷使用后的残留物落到晶圆上；另外设置清洁片为可拆卸结构可更换，保证清洁片对半导体清洁刷的自清洁效果；最后利用静电力提高清洁效率，使每次用半导体清洁刷前都可自清洁，降低残留物风险。

天眼查资料显示，芯恩（青岛）集成电路有限公司，成立于2018年，位于青岛市，是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本1006720.789212万人民币。通过天眼查大数据分析，芯恩（青岛）集成电路有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目190次，财产线索方面有商标信息15条，专利信息941条，此外企业还拥有行政许可56个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

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