芯恩取得半导体工艺装置专利，提高机械臂抓取晶圆可靠性_资讯

芯恩取得半导体工艺装置专利，提高机械臂抓取晶圆可靠性

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2026-01-23 11:42:06

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国家知识产权局信息显示，芯恩（青岛）集成电路有限公司取得一项名为“一种半导体工艺装置”的专利，授权公告号CN223829778U，申请日期为2025年1月。

专利摘要显示，本实用新型提供一种半导体工艺装置，其中光学平整度检测结构得到机械臂的表面形貌信息；控制单元控制光学平整度检测结构的工作状态；分析判断单元接收并分析表面形貌信息，判断机械臂是否需要清洁，并通过判断结果控制机械臂的驱动结构和清洁结构。本实用新型设置光学平整度检测结构对得到机械臂的表面形貌信息，精确判断机械臂表面污染情况，提高机械臂抓取晶圆可靠性，同时避免机械臂表面污染对洁净晶圆产生交叉污染，减少机台宕机风险，提高产品良率；另外对机械臂表面污染的及时检测减少由于机台停机检修频率，提高生产效率；最后设置自主学习单元，提高机械臂表面清洁报警准确性，保证机械臂表面清洁并避免机械臂的无效清洁导致资源浪费。

天眼查资料显示，芯恩（青岛）集成电路有限公司，成立于2018年，位于青岛市，是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本1006720.789212万人民币。通过天眼查大数据分析，芯恩（青岛）集成电路有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目190次，财产线索方面有商标信息15条，专利信息941条，此外企业还拥有行政许可56个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

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