北方华创申请点火装置和半导体工艺设备专利，解决目前点火装置存在吹扫盲点的问题_资讯

北方华创申请点火装置和半导体工艺设备专利，解决目前点火装置存在吹扫盲点的问题

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2026-01-22 22:39:47

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国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“点火装置和半导体工艺设备”的专利，公开号CN121363740A，申请日期为2024年7月。

专利摘要显示，本申请公开一种点火装置和半导体工艺设备，涉及半导体技术领域。点火装置包括点火腔室以及与所述点火腔室连通的第一进气管道和第二进气管道，所述第二进气管道套设于所述第一进气管道之外，所述第一进气管道用于输送第一气体，所述第二进气管道用于输送第二气体；所述点火腔室包括燃烧室和吹扫气进口，所述吹扫气进口、所述第一进气管道和所述第二进气管道均与所述燃烧室相连通，所述燃烧室的内表面为弧形凹面，所述弧形凹面沿远离所述点火腔室的中心轴线的方向凹陷。该方案能够解决目前点火装置存在吹扫盲点的问题。

天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目1358次，财产线索方面有商标信息68条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可340个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

企业投资半导体华创燃烧室扫盲微电子点火专利北京装置火腔室管道

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