富芯半导体申请半导体结构制备方法专利,提高了第一存储结构和第二存储结构中底电极层的平整度
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2026-01-22 17:45:36
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国家知识产权局信息显示,杭州富芯半导体有限公司申请一项名为“半导体结构的制备方法及半导体结构”的专利,公开号CN121368137A,申请日期为2025年10月。

专利摘要显示,本发明提供一种半导体结构的制备方法及半导体结构,通过提供基底,基底包括衬底、位于衬底内的源极区和漏极区、位于源极区、漏极区之间的衬底上的栅极结构;于基底上形成介质层,于介质层上形成第一金属互连层,其中,第一金属互连层包括第一绝缘层和贯穿第一绝缘层的栅极金属结构、源极金属结构,栅极金属结构、源极金属结构分别通过接触孔与栅极结构、源极区连接,于第一金属互连层上沉积底电极层,平坦化底电极层,基于底电极层,形成分别与栅极金属结构、源极金属结构对应的第一存储结构和第二存储结构,提高了第一存储结构和第二存储结构中底电极层的平整度,且工艺步骤较少,简化了RRAM的制备流程。

天眼查资料显示,杭州富芯半导体有限公司,成立于2019年,位于杭州市,是一家以从事批发业为主的企业。企业注册资本945000万人民币。通过天眼查大数据分析,杭州富芯半导体有限公司参与招投标项目36次,财产线索方面有商标信息15条,专利信息355条,此外企业还拥有行政许可27个。

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来源:市场资讯

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