光科芯图申请基于平面波的照明系统及曝光设备专利，大幅缩短照明系统轴向长度_资讯

光科芯图申请基于平面波的照明系统及曝光设备专利，大幅缩短照明系统轴向长度

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2026-01-22 13:50:50

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国家知识产权局信息显示，光科芯图（北京）科技有限公司申请一项名为“基于平面波的照明系统及曝光设备”的专利，公开号CN121348673A，申请日期为2025年12月。

专利摘要显示，本发明公开了一种基于平面波的照明系统及曝光设备，包括：第一反射镜，波前像差检测模块相对于光线入射方向倾斜，第一反射镜用于接收来自光源的光线并对光线进行反射；第二反射镜，用于接收第一反射镜反射的光线并对光线进行扩束；第三反射镜，用于接收第二反射镜反射的光线并对光线进行准直后向目标物反射光线。本发明中通过第一反射镜、第二反射镜和第三反射镜的反射路径，实现光路折叠，大幅缩短照明系统的轴向长度，显著节省空间。三个反射镜的结构数量远少于传统多透镜组，且反射镜的定位精度要求低于多透镜的同轴度要求，简化了照明系统整体的结构设计和装配流程，降低了系统复杂度和使用成本。

天眼查资料显示，光科芯图（北京）科技有限公司，成立于2022年，位于北京市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本35555.55万人民币。通过天眼查大数据分析，光科芯图（北京）科技有限公司参与招投标项目5次，财产线索方面有商标信息4条，专利信息103条，此外企业还拥有行政许可1个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

显示进行反射镜投资平面波设备照明系统光线专利光科芯图

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