上海联眺申请射频电源控制设备专利，提高对各射频电源进行控制的实时性
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2026-01-22 09:41:36
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国家知识产权局信息显示，上海联眺科技有限公司申请一项名为“射频电源控制设备、方法和半导体制造设备”的专利，公开号CN121355164A，申请日期为2025年9月。
专利摘要显示，本申请涉及一种射频电源控制设备、方法和半导体制造设备。射频电源控制设备包括第一射频电源和至少一个第二射频电源，第一射频电源与至少一个第二射频电源通信连接；第二射频电源用于向第一射频电源发送第一电源数据；第一射频电源用于接收第一电源数据，并根据第一电源数据调整第一射频电源的功率输出特性，以使第二射频电源的匹配状态为匹配。本申请提供的射频电源控制设备能够提高对各射频电源进行控制的实时性。
天眼查资料显示，上海联眺科技有限公司，成立于2024年，位于上海市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本10000万人民币。通过天眼查大数据分析，上海联眺科技有限公司专利信息9条。
声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。
来源：市场资讯
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