东方晶源取得电介质击穿测量电路专利,显著提高了电击穿效率
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2026-01-21 10:40:11
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国家知识产权局信息显示,东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司取得一项名为“电介质击穿测量电路及半导体检测设备”的专利,授权公告号CN223815413U,申请日期为2025年1月。

专利摘要显示,本实用新型提供了一种电介质击穿测量电路和半导体检测设备。电介质击穿测量电路包括:可调电压源;分压电阻,其第一端与可调电压源电连接,分压电阻的第二端作为分压输出端;被测电路,其与分压输出端电连接;检测电路,其输入端电性耦接至分压输出端,并配置成将分压输出端的信号转换为检测信号。在待测晶圆被击穿的过程中,检测分压输出端的信号的变化情况,以时刻反应待测晶圆的被击穿程度,可防止对晶圆进行间歇地电介质击穿,进而防止电击穿以及检测时间过长,显著提高了电击穿效率、晶圆静电释放效率和/或晶圆检测效率。可调电压源提供的电压同时可以作为击穿电压,这样就不在单独为待测晶圆提供额外的电击穿电路。

天眼查资料显示,东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司,成立于2014年,位于北京市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本36401.6097万人民币。通过天眼查大数据分析,东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司共对外投资了6家企业,参与招投标项目23次,财产线索方面有商标信息161条,专利信息389条,此外企业还拥有行政许可18个。

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来源:市场资讯

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