创飞芯源申请屏蔽栅沟槽型场效应晶体管及其制备方法专利,实现栅漏电荷的定向降低
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2026-01-20 23:38:19
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国家知识产权局信息显示,深圳市创飞芯源半导体有限公司申请一项名为“屏蔽栅沟槽型场效应晶体管及其制备方法”的专利,公开号CN121357943A,申请日期为2025年12月。

专利摘要显示,本发明提供一种屏蔽栅沟槽型场效应晶体管及其制备方法,包括:半导体衬底;外延层;多个沟槽,形成在外延层中;源介质层,设置于沟槽的下部;第一多晶硅层,填充于沟槽的下部;栅介质层,设置于沟槽的上部;第二多晶硅层,设置于沟槽的上部,第一多晶硅层与第二多晶硅层之间设有隔离介质层;体区,设置于外延层表层;源区,设置于体区表层;层间介质层,设置于外延层上;源极金属,设置于层间介质层上并连接源区;栅极金属,设置于层间介质层上并连接第二多晶硅层;多个接触孔,第一多晶硅层选择性地与源极金属及栅极金属其中之一的电连接。本发明通过接触孔图案的拓扑优化设计,实现栅漏电荷的定向降低,同时保持器件的雪崩耐量和动态特性。

天眼查资料显示,深圳市创飞芯源半导体有限公司,成立于2021年,位于深圳市,是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本2247.191万人民币。通过天眼查大数据分析,深圳市创飞芯源半导体有限公司共对外投资了1家企业,财产线索方面有商标信息10条,专利信息15条,此外企业还拥有行政许可5个。

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来源:市场资讯

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