烨映微电子申请MEMS芯片晶圆阶响应检测方法专利，实现在封装前对芯片进行快速、批量的响应性能筛查_资讯

烨映微电子申请MEMS芯片晶圆阶响应检测方法专利，实现在封装前对芯片进行快速、批量的响应性能筛查

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2026-01-20 00:08:39

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国家知识产权局信息显示，上海烨映微电子科技股份有限公司申请一项名为“一种MEMS芯片在晶圆阶的响应检测方法、系统及电子设备”的专利，公开号CN121348043A，申请日期为2025年10月。

专利摘要显示，本发明提供了一种MEMS芯片在晶圆阶的响应检测方法、系统及电子设备，涉及微机电系统制造与测试技术领域，包括：获取设有MEMS芯片的待检测晶圆，将其固定于晶圆台上；所述MEMS芯片与所述探针卡电连接；通过所述探针卡采集在第一检测温度条件下所述MEMS芯片的第一输出信号值；通过所述探针卡采集在第二检测温度条件下所述MEMS芯片的第二输出信号值；分别将所述第一输出信号、所述第二输出信号与预设信号值进行比较，基于比较结果确定所述MEMS芯片的响应情况。本发明，以实现在封装前对芯片进行快速、批量的响应性能筛查，从而降低生产成本、提高测试效率。

天眼查资料显示，上海烨映微电子科技股份有限公司，成立于2016年，位于上海市，是一家以从事专业技术服务业为主的企业。企业注册资本3373.6759万人民币。通过天眼查大数据分析，上海烨映微电子科技股份有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目1次，财产线索方面有商标信息44条，专利信息63条，此外企业还拥有行政许可2个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

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