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阿童木科技申请化学气相沉积加热装置专利，确保半导体晶片各区域受热均匀

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2026-01-19 19:39:49

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国家知识产权局信息显示，浙江阿童木科技有限公司申请一项名为“一种用于化学气相沉积设备的加热装置和化学气相沉积设备”的专利，公开号CN121344572A，申请日期为2025年12月。

专利摘要显示，本申请涉及化学气相沉积设备领域，公开了一种用于化学气相沉积设备的加热装置和化学气相沉积设备，其中的用于化学气相沉积设备的加热装置包括竖轴，所述竖轴的底端固定安装有横梁。本申请具有以下优点和效果：便于电阻加热器、感应加热器、红外加热器三种加热方式的灵活切换，可适配多种材质半导体晶片的化学气相沉积需求，可兼容多温度区间加工需求，还满足不同沉积的加热需求，而且能够控制两个隔热箱以竖轴为中心在反应腔内往复性旋转，确保半导体晶片各区域受热均匀，提升对导电承载架上放置的半导体晶片加热的均匀性和全面性，有效降低半导体晶片上沉积薄膜厚度偏差，进而提升对半导体晶片进行化学气相沉积处理的品质。

天眼查资料显示，浙江阿童木科技有限公司，成立于2025年，位于杭州市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析，浙江阿童木科技有限公司。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

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