星昱传感科技申请微机械结构器件及传感器专利，避免微机械谐振结构因环境压力变化导致性能降低或失效_资讯

星昱传感科技申请微机械结构器件及传感器专利，避免微机械谐振结构因环境压力变化导致性能降低或失效

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2026-01-19 18:39:15

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国家知识产权局信息显示，星昱传感科技（嘉兴）有限公司申请一项名为“一种微机械结构器件、制作方法以及传感器”的专利，公开号CN121341929A，申请日期为2025年12月。

专利摘要显示，本申请公开了一种微机械结构器件、制作方法以及传感器，该器件包括晶圆组件、第二晶片和封装层。第一晶片包括支撑结构和至少一组微机械谐振结构，支撑结构远离衬底硅片的一侧与第二晶片的凹槽一侧键合，至少一组微机械谐振结构分别与凹槽和衬底硅片之间具有空隙。封装层包括凸起部，凸起部依次穿过衬底硅片和第一埋氧层并与支撑结构接触。本申请能够避免第一埋氧层暴露，避免在特殊的气体环境下，外部气体通过第一埋氧层进入微机械结构器件的内部，使得微机械谐振结构由于环境压力发生变化而导致的性能降低或失效。

天眼查资料显示，星昱传感科技（嘉兴）有限公司，成立于2024年，位于嘉兴市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本387.5万人民币。通过天眼查大数据分析，星昱传感科技（嘉兴）有限公司共对外投资了1家企业。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

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