国家知识产权局信息显示,卡尔蔡司SMT有限责任公司申请一项名为“光学系统和光刻系统”的专利,公开号CN121359082A,申请日期为2024年6月。
专利摘要显示,本发明涉及一种光学系统(300),其具有多个可致动光学元件(310)和多个用于致动和/或感测光学元件(310)的致动器/传感器装置(200),该光学系统具有用于为光学系统(300)的多个电负载(500,L1‑L12)提供供电电压(VS)的供电装置(400),该供电装置包括多个N个供电轨(410‑440)与相应电源单元(450)的并联连接,其中N≥3,其中N个供电轨(410‑440)的相应电源单元(450)被设置为在供电装置(400)无故障运行时在供电节点(K1‑K4)的输出侧提供预定的电源单元输出功率(P1),并且在故障运行时在供电节点(K1‑K4)的输出侧提供预定的电源单元输出功率的倍数(P2)。
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