卡尔蔡司SMT申请光学系统和光刻系统专利，为多个电负载提供供电电压
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2026-01-19 17:40:28
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国家知识产权局信息显示，卡尔蔡司SMT有限责任公司申请一项名为“光学系统和光刻系统”的专利，公开号CN121359082A，申请日期为2024年6月。
专利摘要显示，本发明涉及一种光学系统（300），其具有多个可致动光学元件（310）和多个用于致动和/或感测光学元件（310）的致动器/传感器装置（200），该光学系统具有用于为光学系统（300）的多个电负载（500，L1‑L12）提供供电电压（VS）的供电装置（400），该供电装置包括多个N个供电轨（410‑440）与相应电源单元（450）的并联连接，其中N≥3，其中N个供电轨（410‑440）的相应电源单元（450）被设置为在供电装置（400）无故障运行时在供电节点（K1‑K4）的输出侧提供预定的电源单元输出功率（P1），并且在故障运行时在供电节点（K1‑K4）的输出侧提供预定的电源单元输出功率的倍数（P2）。
声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。
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