江苏第三代半导体研究院申请氮化物外延片制备方法专利,提高氮化物外延片的亮度
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2026-01-19 12:08:37
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国家知识产权局信息显示,江苏第三代半导体研究院有限公司申请一项名为“一种氮化物外延片及其制备方法和应用”的专利,公开号CN121358069A,申请日期为2025年10月。

专利摘要显示,本发明提供一种氮化物外延片及其制备方法和应用。该方法包括:在衬底上依次制备N型氮化物层与有源层;在通入包含活性元素的表面活性剂的条件下,在有源层上生长p型氮化物前层;p型氮化物前层包含不同的活性元素、第一及第二掺杂元素;在停止通入表面活性剂的条件下,在p型氮化物前层上沉积包含第一、第二掺杂元素的原子沉积层;在原子沉积层上生长具有第一掺杂元素的p型氮化物后层;进行热处理,使p型氮化物前层中的活性元素解吸附,并使原子沉积层中的第一、第二掺杂元素分别向p型氮化物前层、后层内迁移。本发明利用活性元素的解吸附和原子沉积层的扩散,提高p型氮化物层的空穴浓度,提高氮化物外延片的亮度,降低工作电压与droop效应。

天眼查资料显示,江苏第三代半导体研究院有限公司,成立于2019年,位于苏州市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析,江苏第三代半导体研究院有限公司共对外投资了2家企业,参与招投标项目24次,财产线索方面有商标信息8条,专利信息378条,此外企业还拥有行政许可11个。

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来源:市场资讯

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