芯火微测申请芯片检测扫描电镜专利,使得芯片检测使用场景得到拓展
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2026-01-17 17:39:19
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国家知识产权局信息显示,芯火微测(成都)科技有限公司申请一项名为“一种芯片检测扫描电镜”的专利,公开号CN121331725A,申请日期为2025年12月。

专利摘要显示,本发明公开了一种芯片检测扫描电镜,包括壳体,壳体内沿竖向设置有扫描电子显微镜装置、样品台,壳体内还倾斜设置有聚焦离子束装置,样品台包括底座以及可摆动地设置在底座上的第一平台,底座上设置有用于驱动第一平台发生偏转的偏转装置,底座上设置有连接座,连接座上可摆动地设置有第二平台,第二平台位于第一平台的上方;连接座上还设置有驱动机构。与现有技术相比,本发明的芯片检测扫描电镜利用了设备原有样品台(即第一平台)的偏转实现对第二平台的偏转驱动,通过第一平台的多次偏转可实现第二平台更大幅度的偏转,使得芯片检测使用场景得到拓展,例如可实现对芯片更大角度的检测观察。

天眼查资料显示,芯火微测(成都)科技有限公司,成立于2022年,位于成都市,是一家以从事专业技术服务业为主的企业。企业注册资本7000万人民币。通过天眼查大数据分析,芯火微测(成都)科技有限公司参与招投标项目28次,财产线索方面有商标信息3条,专利信息23条,此外企业还拥有行政许可3个。

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来源:市场资讯

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