上海超硅申请SOI衬底制备方法专利,能低成本高灵活性控制顶层半导体层导电类型
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2026-01-17 10:09:40
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国家知识产权局信息显示,上海超硅半导体股份有限公司、重庆超硅半导体有限公司申请一项名为“SOI衬底的制备方法”的专利,公开号CN121335202A,申请日期为2025年10月。

专利摘要显示,本发明所要解决的技术问题是,提供一种SOI衬底的制备方法,能低成本、高灵活性的控制顶层半导体层导电类型。为了解决上述问题,本发明提供了一种SOI衬底的制备方法,包括:提供器件衬底和支撑衬底;在所述器件衬底表面形成外延层;在所述外延层中形成剥离层;在所述支撑衬底和/或外延层的表面形成绝缘层;以所述绝缘层为中间层,将所述支撑衬底和器件衬底键合;从所述剥离层所在位置解离键合后的衬底,形成SOI衬底。采用上述方法制备的SOI衬底,可以根据最终SOI衬底对顶层半导体层的要求对外延层导电类型进行独立调节,不受器件衬底的导电类型限制。可以确保采用普通的器件衬底,辅以外延手段即可获得任意导电类型的顶层半导体层。

天眼查资料显示,上海超硅半导体股份有限公司,成立于2008年,位于上海市,是一家以从事仪器仪表制造业为主的企业。企业注册资本117640.3602万人民币。通过天眼查大数据分析,上海超硅半导体股份有限公司共对外投资了7家企业,参与招投标项目25次,财产线索方面有商标信息11条,专利信息258条,此外企业还拥有行政许可193个。

重庆超硅半导体有限公司,成立于2014年,位于重庆市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本200000万人民币。通过天眼查大数据分析,重庆超硅半导体有限公司参与招投标项目21次,专利信息165条,此外企业还拥有行政许可17个。

声明:市场有风险,投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成,仅供参考,不构成个人投资建议。

来源:市场资讯

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