锐科激光：深紫外纳秒光纤激光器在半导体光刻等领域有重要作用
创始人
2026-01-16 21:39:12
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证券之星消息，锐科激光(300747)01月15日在投资者关系平台上答复投资者关心的问题。
投资者提问：贵司产品能否应用于光刻技术，国家需要属于自己的光刻机。贵司是否考虑布局储备类似的技术能力
锐科激光回复：尊敬的投资者，您好！锐科激光“全波段系列产品”围绕激光领域“全波长、全功率、全脉宽、全应用”目标，实现各层级基础技术、材料、器件、光源自主创新。其中，波长仅为213nm的深紫外纳秒光纤激光器最大平均功率达到150mW，单脉冲能量超过0.6μJ，在DUV激光检测、半导体光刻、FBG刻写、光谱分析等先进应用领域有着重要作用。公司高度重视光刻机光源国产化需求，积极布局光刻配套光源相关技术储备，公司研发技术情况请以定期报告披露的情况为准。谢谢！
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