苏州中芯长宏申请芯片加工生产线监控方法及系统专利，增强异常处理的及时性_资讯

苏州中芯长宏申请芯片加工生产线监控方法及系统专利，增强异常处理的及时性

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2026-01-14 00:37:19

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国家知识产权局信息显示，苏州中芯长宏半导体科技有限公司申请一项名为“一种芯片加工生产线监控方法及系统”的专利，公开号CN121300005A，申请日期为2025年9月。

专利摘要显示，本发明涉及半导体相关技术领域，具体包括一种芯片加工生产线监控方法及系统，包括：采集光刻工艺监测数据；设置特征矩阵；确定聚焦窗口边界；基于特征矩阵，结合聚焦窗口边界与光刻工艺监测数据，配置焦距偏移补偿量；使用边缘放置误差模型，确定偏差幅度评分进行分级提醒。解决芯片加工生产线监控的窗口边界界定依赖经验设定固定标准，无法对焦距偏移进行有效补偿，存在边缘放置误差超标的风险技术问题，实现通过在掩膜层、镜片层、光刻胶层中开展光学邻近效应与工艺窗口的耦合分析并构建特征矩阵，动态匹配补偿参数与误差趋势，提高焦距偏移补偿精度，使用边缘放置误差模型确定偏差幅度评分并进行分级提醒，增强了异常处理的及时性技术效果。

天眼查资料显示，苏州中芯长宏半导体科技有限公司，成立于2022年，位于苏州市，是一家以从事批发业为主的企业。企业注册资本300万人民币。通过天眼查大数据分析，苏州中芯长宏半导体科技有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目9次，专利信息24条，此外企业还拥有行政许可2个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

技术投资半导体生产线监控芯片及时性误差专利加工焦距

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