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富芯半导体取得光阻供应装置及光阻容纳装置专利，提高了半导体产品的性能和良率

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2026-01-13 14:13:42

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国家知识产权局信息显示，杭州富芯半导体有限公司取得一项名为“一种光阻供应装置及光阻容纳装置”的专利，授权公告号CN223798628U，申请日期为2024年12月。

专利摘要显示，本实用新型提供了一种光阻供应装置及光阻容纳装置，该光阻供应装置包括：第一容器，用于容纳光阻剂，基于所述第一容器表面的压力变化，光阻剂从所述第一容器中流出；第二容器，用于容纳所述第一容器，所述第二容器与所述第一容器之间设置有气体空间，基于所述气体空间的压力变化，所述第一容器表面的压力变化。根据本实用新型提供的光阻供应装置及光阻容纳装置，包括用于容纳光阻剂的第一容器以及用于容纳第一容器的第二容器，通过改变第二容器与所述第一容器之间气体空间的压力，使第一容器表面的压力变化，进而光阻剂从所述第一容器中流出，避免了光阻剂供应过程中产生结晶和气泡，提高了半导体产品的性能和良率。

天眼查资料显示，杭州富芯半导体有限公司，成立于2019年，位于杭州市，是一家以从事批发业为主的企业。企业注册资本945000万人民币。通过天眼查大数据分析，杭州富芯半导体有限公司参与招投标项目35次，财产线索方面有商标信息15条，专利信息349条，此外企业还拥有行政许可27个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

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