新存科技取得液体供应系统及半导体设备专利,避免气泡破裂导致滤膜破裂
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2026-01-13 09:39:58
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国家知识产权局信息显示,新存科技(武汉)有限责任公司取得一项名为“一种液体供应系统及半导体设备”的专利,授权公告号CN223788482U,申请日期为2024年12月。

专利摘要显示,本申请提供一种液体供应系统及半导体设备,液体供应系统包括槽体、过滤器、管路和超声波发生装置,槽体用于盛放液体,管路连通槽体和过滤器,用于使液体从槽体流向过滤器,过滤器用于对液体进行过滤。至少部分管路位于超声波发生装置的内部空间中,由于超声波发生装置能够产生超声波,超声波能够实现对液体中气泡的消除,在液体进入过滤器之前消除气泡,从而避免气泡破裂导致滤膜破裂,避免对过滤器造成损伤,进而过滤器的更换周期能够被延长,降低了工艺成本,还能提高液体流量的稳定性。同时,在超声消泡的作用下,避免了气泡堆积对温度检测精确度的影响,搭配加热装置进行实时功率调整,可实现对液体的稳定控温。

天眼查资料显示,新存科技(武汉)有限责任公司,成立于2022年,位于武汉市,是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本1785.754万人民币。通过天眼查大数据分析,新存科技(武汉)有限责任公司共对外投资了9家企业,参与招投标项目5次,专利信息183条。

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来源:市场资讯

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