湖北江城芯片申请半导体结构及其制造方法专利,部分研磨液流入第一开口中使磨料颗粒保留在第一开口中
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2026-01-12 10:12:21
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国家知识产权局信息显示,湖北江城芯片中试服务有限公司申请一项名为“半导体结构及其制造方法”的专利,公开号CN121310997A,申请日期为2025年10月。

专利摘要显示,本公开实施例提供一种半导体结构及其形成方法,该半导体结构的形成方法包括:提供第一介质层;第一介质层中形成有多个第一互连结构;在第一介质层上形成第二介质层;形成穿过第一介质层并延伸至第二介质层中的第一开口;第一开口位于沿着第一方向相邻的第一互连结构之间;第一方向与第二方向垂直,第二方向为半导体结构的厚度方向;通过第一化学机械抛光对第二介质层进行减薄处理;在第一化学机械抛光的过程中,部分研磨液流入第一开口中;进行第一干燥处理,使研磨液中的磨料颗粒保留在第一开口中。

天眼查资料显示,湖北江城芯片中试服务有限公司,成立于2021年,位于武汉市,是一家以从事研究和试验发展为主的企业。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析,湖北江城芯片中试服务有限公司共对外投资了6家企业,参与招投标项目33次,财产线索方面有商标信息8条,专利信息109条,此外企业还拥有行政许可9个。

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来源:市场资讯

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