中科格励微取得MEMS三维电容器专利，增大MEMS三维电容器的电容值_资讯

中科格励微取得MEMS三维电容器专利，增大MEMS三维电容器的电容值

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2026-01-12 09:39:19

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国家知识产权局信息显示，北京中科格励微科技有限公司取得一项名为“一种MEMS三维电容器”的专利，授权公告号CN223785014U，申请日期为2025年1月。

专利摘要显示，本公开提出一种MEMS三维电容器，属于MEMS三维电容元件技术领域。MEMS三维电容器包括：具有沟槽区域的衬底，所述衬底的沟槽区域设置有多个支撑结构以及环绕所述支撑结构的沟槽，所述支撑结构包括至少沿第一方向设置的第一支撑部以及沿第二方向设置的第二支撑部，并且所述第一支撑部和所述第二支撑部交叉相连；至少一层电容结构，所述电容结构包括依次层叠设置于所述沟槽和所述支撑结构上的第一极板层、电介质层以及第二极板层。通过在晶圆衬底上刻蚀图案，形成支撑结构，有利于增加MEMS三维电容器上电容结构中极板的正对面积，从而增大MEMS三维电容器的电容值。

天眼查资料显示，北京中科格励微科技有限公司，成立于2017年，位于北京市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本2238.351031万人民币。通过天眼查大数据分析，北京中科格励微科技有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目88次，财产线索方面有商标信息16条，专利信息77条，此外企业还拥有行政许可3个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

企业显示三维极板投资沟槽励微电容器结构专利衬底电容支撑部

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