中欣晶圆申请降低重掺磷硅单晶头部电阻率制备方法专利,排出硅熔体中的杂质气体
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2026-01-12 09:38:44
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国家知识产权局信息显示,宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司申请一项名为“降低重掺磷硅单晶头部电阻率的制备方法”的专利,公开号CN121295324A,申请日期为2025年9月。

专利摘要显示,一种降低重掺磷硅单晶头部电阻率的制备方法,包括以下步骤:将原生多晶硅原料进行化料,化料完成后,获得熔化的硅熔体;对熔化的硅熔体进行高温排气处理工序,排出硅熔体中的杂质气体;对完成高温排气处理工序的硅熔体进行一次安定工序;对完成一次安定工序的硅熔体进行投掺工序;对完成投掺工序的硅熔体进行二次安定工序。

天眼查资料显示,宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司,成立于2015年,位于银川市,是一家以从事非金属矿物制品业为主的企业。企业注册资本150000万人民币。通过天眼查大数据分析,宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司参与招投标项目17次,专利信息362条,此外企业还拥有行政许可25个。

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来源:市场资讯

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