新凯来申请工艺套件及半导体设备专利，有效减少工艺过程中的颗粒污染_资讯

新凯来申请工艺套件及半导体设备专利，有效减少工艺过程中的颗粒污染

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2026-01-10 19:10:45

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国家知识产权局信息显示，深圳市新凯来工业机器有限公司申请一项名为“工艺套件及半导体设备”的专利，公开号CN121295117A，申请日期为2025年9月。

专利摘要显示，本申请涉及半导体设备领域，尤其涉及工艺套件及半导体设备。工艺套件包括：限光壁(10)，其形成为环形，所述限光壁(10)的底部顶面具有凸出部(110)；外沉积环(20)，其底面具有凹陷部(210)，所述凸出部(110)伸入所述凹陷部(210)，所述外沉积环(20)搭接于所述限光壁(10)且搭接区(30)位于所述凸出部(110)的凸出部顶面(111)的径向外侧，至少在所述搭接区(30)的径向内侧，所述限光壁(10)与所述外沉积环(20)间隔开。

天眼查资料显示，深圳市新凯来工业机器有限公司，成立于2022年，位于深圳市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本108140万人民币。通过天眼查大数据分析，深圳市新凯来工业机器有限公司共对外投资了4家企业，参与招投标项目18次，财产线索方面有商标信息22条，专利信息194条，此外企业还拥有行政许可14个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

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