北方华创申请风扇转速控制方法及半导体工艺设备专利，实现了待控风扇的能耗的有效降低_资讯

北方华创申请风扇转速控制方法及半导体工艺设备专利，实现了待控风扇的能耗的有效降低

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2026-01-08 23:08:50

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国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“一种风扇转速控制方法及半导体工艺设备”的专利，公开号CN121273668A，申请日期为2024年7月。

专利摘要显示，本申请提供了一种风扇转速控制方法及半导体工艺设备，其中，所述风扇转速控制方法通过获取半导体工艺设备中目标参数的参数值，并将各目标参数的参数值输入至预先训练好的支持向量机模型，通过支持向量机模型输出半导体工艺设备中待控风扇的预测转速，以根据预测转速对待控风扇进行转速控制，实现了待控风扇的能耗的有效降低；其中，支持向量机模型的目标核函数包括第一子函数和第二子函数，第一子函数和第二子函数分别用于对各目标参数的参数值进行线性映射和非线性映射，从而能够快速准确地对待控风扇进行转速预测及控制，进而能够快速有效地对半导体工艺设备中的待冷却部件进行冷却，提高了半导体工艺设备的生产效率。

天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目1345次，财产线索方面有商标信息68条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可340个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

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