瑞声科技申请声学传感器制备方法专利，提升声压级_资讯

瑞声科技申请声学传感器制备方法专利，提升声压级

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2026-01-08 18:37:11

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国家知识产权局信息显示，瑞声科技（新加坡）有限公司申请一项名为“声学传感器的制备方法及声学传感器”的专利，公开号CN121285247A，申请日期为2025年9月。

专利摘要显示，本发明实施例提供了一种声学传感器的制备方法，包括：提供基底单元包括第一硅层、第一氧化层以及第二硅层；于第二硅层顶部形成第二氧化层、压电复合层；图案化压电复合层及基底单元，形成暴露第一电极层部分顶面的第一开口、暴露第一氧化层部分顶面的第一狭缝、暴露第二氧化层部分顶面的第二狭缝；于第一、第二电极层上形成第一、第二金属垫；于压电复合层上涂覆形成第一薄膜材料层，于第一薄膜材料层上涂覆形成第二薄膜材料层；于第二薄膜材料层侧刻蚀以暴露出第二金属垫，平坦化第二薄膜材料层；于第一硅层底部刻蚀形成背腔。还提供一种声学传感器。该制备方法及声学传感器能提升声压级，减少制造困难、简化后续工艺，提高良率和长期可靠性。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

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