LPE申请反应室组件专利，适于在衬底上外延沉积半导体膜
创始人
2026-01-08 14:49:48
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国家知识产权局信息显示，LPE公司申请一项名为“反应室组件”的专利，公开号CN121272549A，申请日期为2025年7月。
专利摘要显示，一种用于在至少两个衬底上外延沉积半导体膜的反应器的反应室组件，包括：(a)外壳，(b)包含在所述外壳内的至少两个壳体，(c)至少两个沉积单元，以及(d)隔热系统。每个壳体包含至少一个沉积单元。每个沉积单元设置有至少一个接收区域，其适于接收衬底保持器并且适于在衬底上外延沉积半导体膜。隔热系统包括定位在至少两个壳体之间的中间隔热元件。
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来源：市场资讯
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