建安智控取得集成电路光刻胶涂覆装置专利,避免了光刻胶的浪费和环境污染
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2026-01-06 12:11:28
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国家知识产权局信息显示,深圳市建安智控技术有限公司取得一项名为“一种集成电路光刻胶涂覆装置”的专利,授权公告号CN223770528U,申请日期为2025年3月。

专利摘要显示,本实用新型属于光刻胶涂覆技术领域,具体的说是一种集成电路光刻胶涂覆装置,包括底座,所述底座上固接有壳罩,所述壳罩内开设有环形槽,环形槽内设置有防护罩,所述防护罩的顶侧固接有四个连接座,所述底座上安装有四个第一气动缸,每个第一气动缸的作用端均装配有第一气动杆,且所述第一气动缸的顶端固接在连接座;本实用新型在使用时,能够使晶圆在转动过程中,从晶圆边缘甩出的光刻胶进行有效的阻挡,避免了光刻胶的飞溅和浪费,被阻挡的光刻胶落入壳罩内,并通漏口流入环形收集盒内,从而能够对甩出的光刻胶进行有效的收集,避免了光刻胶的浪费和环境污染,同时收集在环形收集盒内的光刻胶可以经过处理后再利用,降低了材料成本。

天眼查资料显示,深圳市建安智控技术有限公司,成立于2013年,位于深圳市,是一家以从事零售业为主的企业。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析,深圳市建安智控技术有限公司参与招投标项目3次,财产线索方面有商标信息5条,专利信息15条,此外企业还拥有行政许可10个。

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来源:市场资讯

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