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浙江芯动科技取得适用于MEMS芯片制造的Wafer推片器专利，解决单片晶圆周转问题

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2026-01-03 18:08:23

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国家知识产权局信息显示，浙江芯动科技有限公司取得一项名为“一种适用于MEMS芯片制造的Wafer推片器”的专利，授权公告号CN223752438U，申请日期为2025年1月。

专利摘要显示，本实用新型属于芯片制造技术领域，尤其涉及一种适用于MEMS芯片制造的Wafer推片器，包括基座，基座上端面设有用于放置晶圆片的卡塞一与卡塞二，基座一侧开设有滑槽，基座下端面设有推动组件，推动组件包括步进电机、拉板、安装座、推板、定位轴和安装杆，步进电机安装于基座下端面，步进电机输出端套设有齿轮，拉板端面设有与齿轮啮合的凸齿，拉板一端与齿轮抵触另一端经过滑槽与安装座固定，定位轴和安装杆固定于安装座上端面，推板上开设有用于与定位轴与安装杆连接的固定孔与定位孔，安装杆上等距设有若干与定位孔连接的对接孔；与现有技术相比，本实用新型可以解决单片晶圆周转的问题。

天眼查资料显示，浙江芯动科技有限公司，成立于2017年，位于嘉兴市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本9900万人民币。通过天眼查大数据分析，浙江芯动科技有限公司参与招投标项目27次，财产线索方面有商标信息1条，专利信息24条，此外企业还拥有行政许可1个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

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