应用材料公司申请用于等离子体处理应用的脉冲电压源专利，能够对处理腔室中的基板进行等离子体处理
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2026-01-01 02:08:18
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国家知识产权局信息显示，应用材料公司申请一项名为“用于等离子体处理应用的脉冲电压源”的专利，公开号CN121237627A，申请日期为2022年5月。
专利摘要显示，本文提供的实施例大体包括设备，例如，等离子体处理系统，以及用于对处理腔室中的基板进行等离子体处理的方法。一些实施例涉及波形产生器。波形产生器大体包括第一电压级，所述第一电压级具有：第一电压源；第一开关；以及第二开关，其中第一电压源的第一端子耦合到第一开关的第一端子，并且其中第一电压源的第二端子耦合到第二开关的第一端子。波形产生器还包括耦合到在第一开关和第二开关的第二端子之间的公共节点的电流级，所述电流级具有电流源和耦合到电流源的第三开关。
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