应用材料公司申请用于等离子体处理应用的脉冲电压源专利，能够对处理腔室中的基板进行等离子体处理
创始人
2026-01-01 02:08:18
0次
国家知识产权局信息显示，应用材料公司申请一项名为“用于等离子体处理应用的脉冲电压源”的专利，公开号CN121237627A，申请日期为2022年5月。
专利摘要显示，本文提供的实施例大体包括设备，例如，等离子体处理系统，以及用于对处理腔室中的基板进行等离子体处理的方法。一些实施例涉及波形产生器。波形产生器大体包括第一电压级，所述第一电压级具有：第一电压源；第一开关；以及第二开关，其中第一电压源的第一端子耦合到第一开关的第一端子，并且其中第一电压源的第二端子耦合到第二开关的第一端子。波形产生器还包括耦合到在第一开关和第二开关的第二端子之间的公共节点的电流级，所述电流级具有电流源和耦合到电流源的第三开关。
声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。
来源：市场资讯
相关内容
热门资讯
天津优楚取得嵌入灯带吊顶收边构...
国家知识产权局信息显示，天津优楚科技有限公司取得一项名为“一种嵌入灯带吊顶收边构件”的专利，授权公告...
弗莱吉电子申请用于嵌入式封装的...
国家知识产权局信息显示，昆山弗莱吉电子科技有限公司申请一项名为“用于嵌入式封装的玻璃基板开槽工艺”的...
8月28日茂硕电源现1笔大宗交...
证券之星消息，8月28日茂硕电源发生大宗交易，交易数据如下： 大宗交易成交价格7.51元，相对当日收...
正泰电源：8月27日融券卖出1...
证券之星消息，8月27日，正泰电源（002150）融资买入3959.72万元，融资偿还4117.66...
大众首款纯电Californi...
IT之家 8 月 28 日消息，汽车媒体 CarScoops 昨日（8 月 27 日）发布博文，报道...
新雷能披露5颗在轨卫星搭载电源...
观点网讯：8月27日，新雷能（300593）在机构调研中披露，低轨卫星方向已有5颗在轨卫星搭载公司电...
格力电器取得光伏系统及其控制方...
国家知识产权局信息显示，珠海格力电器股份有限公司取得一项名为“一种光伏系统及其控制方法和电源系统”的...
瑞物科技STS方案：双电源切换...
在数据中心、通信机房、工业控制等对供电连续性要求较高的场景中，两路电源冗余供电是常见的保障方式，但并...
成都通量科技取得实现差分输出的...
国家知识产权局信息显示，成都通量科技有限公司取得一项名为“一种实现差分输出的混合型电流复用压控振荡器...
魅族科技取得多电荷泵控制电路专...
国家知识产权局信息显示，珠海市魅族科技有限公司取得一项名为“一种多电荷泵控制电路、控制方法及电子设备...