应用材料公司申请用于等离子体处理应用的脉冲电压源专利，能够对处理腔室中的基板进行等离子体处理
创始人
2026-01-01 02:08:18
0次
国家知识产权局信息显示，应用材料公司申请一项名为“用于等离子体处理应用的脉冲电压源”的专利，公开号CN121237627A，申请日期为2022年5月。
专利摘要显示，本文提供的实施例大体包括设备，例如，等离子体处理系统，以及用于对处理腔室中的基板进行等离子体处理的方法。一些实施例涉及波形产生器。波形产生器大体包括第一电压级，所述第一电压级具有：第一电压源；第一开关；以及第二开关，其中第一电压源的第一端子耦合到第一开关的第一端子，并且其中第一电压源的第二端子耦合到第二开关的第一端子。波形产生器还包括耦合到在第一开关和第二开关的第二端子之间的公共节点的电流级，所述电流级具有电流源和耦合到电流源的第三开关。
声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。
来源：市场资讯
相关内容
热门资讯
河南送变电取得变电站便携设备接...
国家知识产权局信息显示，河南送变电建设有限公司取得一项名为“一种变电站便携设备的接口可伸缩嵌入装置”...
拆解报告：WiWU吉玛仕磁吸无...
前言 随着MagSafe磁吸生态的日益普及，磁吸无线充移动电源凭借即贴即充的便捷性，成为了越来越多...
小米汽车申请车载电源系统专利，...
国家知识产权局信息显示，小米汽车科技有限公司申请一项名为“车载电源系统、控制方法、车辆及相关设备”的...
紫亦芯申请基于aEASI技术的...
国家知识产权局信息显示，北京紫亦芯集成电路有限公司申请一项名为“一种基于aEASI技术的电源芯片封装...
辉煌科技获得实用新型专利授权：...
证券之星消息，根据天眼查APP数据显示辉煌科技（002296）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“...
金升阳取得信号过零检测电路及开...
国家知识产权局信息显示，广州金升阳科技有限公司取得一项名为“一种信号过零检测电路及开关电源”的专利，...
和芯电子申请基于温度补偿的MO...
国家知识产权局信息显示，深圳市和芯电子有限公司申请一项名为“基于温度补偿的MOS管阈值电压在线监测与...
艾伏新能源申请光伏并网逆变器漏...
国家知识产权局信息显示，艾伏新能源科技（上海）股份有限公司申请一项名为“一种光伏并网逆变器漏电流抑制...
本源量子申请空气桥制备方法专利...
国家知识产权局信息显示，本源量子计算科技（合肥）股份有限公司申请一项名为“空气桥制备方法”的专利，公...
海兴电力申请基于多场景权重耦合...
国家知识产权局信息显示，杭州海兴电力科技股份有限公司;深圳和兴电力科技有限公司;广东和兴电力科技有限...