国家知识产权局信息显示，深圳市鹏芯微集成电路制造有限公司;安徽三安科技有限公司;盛美半导体设备（上海）股份有限公司申请一项名为“半导体冷却装置及半导体湿法刻蚀系统”的专利，公开号CN121230359A，申请日期为2024年6月。

专利摘要显示，本公开涉及一种半导体冷却装置及半导体湿法刻蚀系统，其中，半导体冷却装置包括：壳体（10），呈圆盘形，壳体上设有入液口（101）和出液口（102）；第一隔板（11）和第二隔板（12），均连接于壳体的顶板和底板之间，第一隔板和第二隔板均沿第一方向（x）延伸且沿第二方向（y）间隔设置，第一隔板和第二隔板的两端均与壳体的侧壁间隔设置；和第三隔板（13），连接于壳体（10）的顶板和底板之间且连接于第一隔板（11）和第二隔板（12）之间，第三隔板（13）将入液口（101）和出液口（102）隔开，第一隔板（11）、第二隔板（12）和第三隔板（13）之间形成沿第一方向（x）延伸的第一流道（110）和第二流道（120），入液口（101）连通于第一流道（110），出液口（102）连通于第二流道（120）。

天眼查资料显示，深圳市鹏芯微集成电路制造有限公司，成立于2021年，位于深圳市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本712800万人民币。通过天眼查大数据分析，深圳市鹏芯微集成电路制造有限公司参与招投标项目21次，财产线索方面有商标信息50条，专利信息103条，此外企业还拥有行政许可215个。

安徽三安科技有限公司，成立于2013年，位于芜湖市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本5000万人民币。通过天眼查大数据分析，安徽三安科技有限公司参与招投标项目12次，财产线索方面有商标信息11条，专利信息11条，此外企业还拥有行政许可3个。

盛美半导体设备（上海）股份有限公司，成立于2005年，位于上海市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本47989.2514万人民币。通过天眼查大数据分析，盛美半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了16家企业，参与招投标项目171次，财产线索方面有商标信息28条，专利信息664条，此外企业还拥有行政许可31个。

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来源：市场资讯