苏州智程半导体取得旋转定位机构与晶圆清洗设备专利,实现对晶圆的稳定夹持
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2025-12-31 18:37:05
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国家知识产权局信息显示,苏州智程半导体科技股份有限公司取得一项名为“一种旋转定位机构与晶圆清洗设备”的专利,授权公告号CN223743626U,申请日期为2025年2月。

专利摘要显示,本实用新型提供了一种旋转定位机构与晶圆清洗设备,该旋转定位机构包括:支撑座,周向设置于支撑座上方且与支撑座连接的至少三个定位组件,以及驱动支撑座转动的驱动件;定位组件包括:与支撑座连接的安装座,纵向设置于安装座顶部的横向阻挡件,以及枢转连接于安装座侧部的钟摆件,安装座于横向阻挡件的外侧内嵌转轴,钟摆件的端部活动套设于转轴外侧,且钟摆件的端部轴向向外延伸形成纵向阻挡件,纵向阻挡件的重量小于钟摆件远离纵向阻挡件的端部的重量;在驱动件驱动支撑座转动时,钟摆件围绕转轴所在轴线转动,以由纵向阻挡件与安装座共同限制置于安装座上的晶圆。通过本实用新型,实现对晶圆的稳定夹持。

天眼查资料显示,苏州智程半导体科技股份有限公司,成立于2009年,位于苏州市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本7689.6547万人民币。通过天眼查大数据分析,苏州智程半导体科技股份有限公司共对外投资了3家企业,参与招投标项目155次,财产线索方面有商标信息13条,专利信息240条,此外企业还拥有行政许可6个。

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来源:市场资讯

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