三孚电子申请电子级二氯二氢硅与氦气回收方法专利,将氦气提纯至可再次用于电子级产品生产的纯度标准
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2025-12-31 11:38:25
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国家知识产权局信息显示,唐山三孚电子材料有限公司申请一项名为“电子级二氯二氢硅与氦气的回收方法及回收系统”的专利,公开号CN121225601A,申请日期为2025年12月。

专利摘要显示,本发明提供了一种电子级二氯二氢硅与氦气的回收方法及回收系统,属于尾气处理领域,包括:将含有二氯二氢硅与氦气的尾气经过滤后去除固体颗粒杂质;利用二氯二氢硅与氦气沸点的差异,将去除固体颗粒杂质后的尾气经多级气液分离冷凝,得到液态的二氯二氢硅和初步分离的气态氦气;初步分离的气态氦气经多级吸附后,去除氦气中残留的有机杂质和无机杂质;将去除杂质的氦气经多级膜分离提纯,去除残留的杂质,得到高纯氦气。本发明能够实现尾气的无害化处理,最大程度减少尾气排放,降低能耗和环境污染;同时,回收尾气中的有用物质,将氦气提纯至可再次用于电子级产品生产的纯度标准,达到资源循环利用的目的,降低生产成本,提高企业的经济效益。

天眼查资料显示,唐山三孚电子材料有限公司,成立于2016年,位于唐山市,是一家以从事化学原料和化学制品制造业为主的企业。企业注册资本30000万人民币。通过天眼查大数据分析,唐山三孚电子材料有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目20次,专利信息24条,此外企业还拥有行政许可9个。

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来源:市场资讯

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