路维光电：G11高精度超大尺寸掩膜版等产品技术国内领先，多次打破海外垄断
创始人
2025-12-29 17:38:49
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有投资者在互动平台向路维光电提问：“贵司在自主可控领域有哪些业务和亮点，谢谢！”
针对上述提问，路维光电回应称：“尊敬的投资者，您好！公司产品技术国内领先，多次打破海外垄断。（1）在G11高精度超大尺寸掩膜版领域，公司于2019年成功建设国内首条G11高世代掩膜版产线并投产，成为国内首家且唯一一家、世界第四家掌握G11掩膜版生产制造技术的本土企业；（2）在半色调掩膜版领域，公司于2018年成功实现G2.5等中小尺寸半色调掩膜版投产，HTM产品目前可以覆盖全世代，打破国外厂商长期技术垄断；（3）在光阻涂布领域，公司分别于2016年、2018年自主开发了中小尺寸和大尺寸掩膜版光阻涂布技术，实现了国内掩膜版行业在高精度、大尺寸光阻涂布技术上零的突破及对产业链上游技术的成功延伸。感谢您的关注，祝您生活愉快！”
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