山东晶升电子取得氮化镓衬底移动机构专利,生产精度高
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2025-12-29 15:38:59
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国家知识产权局信息显示,山东晶升电子科技有限公司取得一项名为“氮化镓衬底移动机构”的专利,授权公告号CN223723280U,申请日期为2024年12月。

专利摘要显示,本实用新型涉及半导体晶体生长技术领域,特别公开了一种氮化镓衬底移动机构。该氮化镓衬底移动机构,包括下移动平台,端面法兰和减速机B分别架设在下移动平台上,其特征在于:所述下移动平台上安装有呈行走轨道的丝杠,丝杠一端连接伺服电机A;丝杠上安装有架设端面法兰的法兰支撑座和架设减速机B的减速机支撑座,端面法兰一侧动密封连接旋转轴,另一侧固定连接石墨衬底杆,旋转轴通过联轴器连接减速机B,减速机B安装在旋转伺服电机B的输出轴上。本实用新型通过水平移动机构和自转机构的配合作用,可以实现氮化镓晶体设备的石墨衬底杆的移动及自转,采用端面动密封方式实现移动及自转,结构简单、维护方便,生产精度高,使用寿命长。

天眼查资料显示,山东晶升电子科技有限公司,成立于2018年,位于济南市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本500万人民币。通过天眼查大数据分析,山东晶升电子科技有限公司参与招投标项目36次,财产线索方面有商标信息2条,专利信息20条,此外企业还拥有行政许可7个。

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来源:市场资讯

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