中芯国际申请半导体结构及其形成方法专利,提高半导体器件的稳定性
创始人
2025-12-27 16:08:40
0

国家知识产权局信息显示,中芯国际集成电路制造(北京)有限公司;中芯国际集成电路制造(上海)有限公司申请一项名为“一种半导体结构及其形成方法”的专利,公开号CN121215607A,申请日期为2024年6月。

专利摘要显示,本申请实施例提供一种半导体结构及其形成方法,半导体结构形成方法包括:在第一介质层上方形成刻蚀停止层,其中,所述刻蚀停止层的刻蚀速率小于所述第一介质层;在所述刻蚀停止层内形成第一沟槽;利用所述第一沟槽形成第二沟槽,所述第二沟槽位于所述第一沟槽的上方,所述第一沟槽与所述第二沟槽之间具有台阶结构;刻蚀所述第二沟槽和第一沟槽,形成键合垫过孔,并同时使所述第二沟槽缓慢向下延伸。本申请提供的半导体结构形成方法通过在第一介质层上方增加刻蚀速率小于第一介质层的刻蚀停止层的方式,使得在形成键合垫过孔时,沟槽和过孔间的台阶结构不会因为刻蚀速率过高而被破坏,保证台阶结构处的关键尺寸不被扩大,提高半导体器件的稳定性。

天眼查资料显示,中芯国际集成电路制造(北京)有限公司,成立于2002年,位于北京市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本100000万美元。通过天眼查大数据分析,中芯国际集成电路制造(北京)有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目53次,专利信息5000条,此外企业还拥有行政许可225个。

中芯国际集成电路制造(上海)有限公司,成立于2000年,位于上海市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本244000万美元。通过天眼查大数据分析,中芯国际集成电路制造(上海)有限公司共对外投资了4家企业,参与招投标项目127次,财产线索方面有商标信息150条,专利信息5000条,此外企业还拥有行政许可446个。

声明:市场有风险,投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成,仅供参考,不构成个人投资建议。

来源:市场资讯

相关内容

热门资讯

阳光电源中标:低频、直流风力发... 证券之星消息,根据天眼查APP-财产线索数据整理,根据中车山东风电有限公司7月23日发布的《低频、直...
广电计量中标:【服务】电源和功... 证券之星消息,根据天眼查APP-财产线索数据整理,根据北京华航无线电测量研究所7月23日发布的《【服...
超导概念板块4月29日跌0.8... 证券之星消息,4月29日超导概念板块较上一交易日下跌0.88%,西部超导领跌。当日上证指数报收于41...
本周12家企业启动A股上市辅导... 钛媒体App 7月26日,证监会网站披露信息显示,本周(7月20日至26日)共新增12家企业获境内发...
SK集团会长崔泰源:Anthr... IT之家 7 月 26 日消息,据彭博社当地时间 24 日报道,SK 集团会长崔泰源近日在美国加利福...
广电运通中标:广发银行(总行)... 证券之星消息,根据天眼查APP-财产线索数据整理,根据广发银行股份有限公司总行7月23日发布的《广发...
万亿芯片巨头即将公布二季报!机... 芯片巨头的财报即将来袭! 韩媒周日(7月26日)发布的一份行业分析报告显示,今年第二季度SK海力士的...
超300家机构扎堆调研!688... 上周(7月20日—24日),A股共有87家上市公司接受机构调研。 从赚钱效应来看,近五成机构调研股上...
中信建投:全球PCB行业迎新一... 智通财经获悉,中信建投发布研报称,受益AI推动,全球PCB行业迎来新一轮上行周期。随着正交背板需求、...
视频丨工业遗产+潮流业态 老电... 四川成都东部的东郊记忆时尚产业园,前身是始建于1958年的成都国营红光电子管厂。近年来,当地通过“微...