蒙锐光电取得碳化硅晶圆无尘存放装置专利,有效避免灰尘进入
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2025-12-27 14:09:19
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国家知识产权局信息显示,蒙锐(上海)光电科技有限公司取得一项名为“一种碳化硅晶圆无尘存放装置”的专利,授权公告号CN223721548U,申请日期为2025年1月。

专利摘要显示,本实用新型公开了一种碳化硅晶圆无尘存放装置,包括壳体,所述壳体内底部设有转盘,所述转盘上方与底座固定连接,所述底座上端开设有多个矩阵排布的定位槽,所述底座上方中部插接有轴杆,所述壳体上端位于轴杆一侧设有活动板,所述活动板中部开设有通槽,所述通槽内两侧均设有刷毛,所述活动板远离轴杆一侧中部设有卡块,所述壳体上设有与卡块相匹配的卡槽,所述壳体位于活动板上方设有盖板,所述壳体靠近活动板一侧上端设有连接管。该种存放装置,结构简单,对圆晶防护效果好,圆晶便于进行取放,有效的避免了圆晶存放过程中灰尘进入到存放装置内部的现象发生,有效的保证了圆晶后续加工的流畅性。

天眼查资料显示,蒙锐(上海)光电科技有限公司,成立于2014年,位于上海市,是一家以从事专业技术服务业为主的企业。企业注册资本500万人民币。通过天眼查大数据分析,蒙锐(上海)光电科技有限公司专利信息30条,此外企业还拥有行政许可6个。

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来源:市场资讯

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