北方华创申请半导体设备专利，缓解颗粒超标问题_资讯

北方华创申请半导体设备专利，缓解颗粒超标问题

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2025-12-27 12:38:34

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国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“半导体设备”的专利，公开号CN121198646A，申请日期为2024年6月。

专利摘要显示，本申请公开了一种半导体设备，涉及半导体领域。一种半导体设备，包括：传输腔室、传输装置、清洁腔室和清洁装置；所述清洁腔室与所述传输腔室连通；所述传输装置设于所述传输腔室内，所述传输装置包括用于吸附晶圆的吸盘；所述清洁装置设于所述清洁腔室内，所述清洁装置包括清洁件，所述清洁件设有出液通道和出气通道，所述出液通道用于向所述吸盘喷射液体，所述出气通道用于向所述吸盘喷射气体。本申请实施例至少能够缓解颗粒超标的问题。

天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目1327次，财产线索方面有商标信息67条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可340个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

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