德智矩阵申请利用AI视觉融合实现半导体晶元缺陷检测专利,提升适应性与精度
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2025-12-27 11:37:17
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国家知识产权局信息显示,广东德智矩阵科技有限公司、广东德智光学有限公司、江苏德智半导体科技有限公司申请一项名为“利用AI视觉融合实现半导体晶元的缺陷检测方法及系统”的专利,公开号CN121213987A,申请日期为2025年8月。

专利摘要显示,本发明涉及机器视觉技术领域,揭露了一种利用AI视觉融合实现半导体晶元的缺陷检测方法及系统,包括:采集半导体晶元的多光谱图像,收集半导体晶元的产线环境参数;分别对多光谱图像与产线环境参数进行多模态数据预处理,得到多波段图像、偏振特征图及环境参数向量;构建多波段图像与偏振特征图之间的物理差异融合网络,利用物理差异融合网络融合多波段图像与偏振特征图,得到缺陷特征向量;从多波段图像中重建半导体晶元的缺陷三维形貌,生成半导体晶元的环境适应参数;利用缺陷特征向量、缺陷三维形貌与环境适应参数确定半导体晶元的缺陷检测结果。本发明可以融合多模态数据、嵌入物理先验知识并具备环境适应性,从而提升适应性与精度。

天眼查资料显示,广东德智矩阵科技有限公司,成立于2018年,位于深圳市,是一家以从事批发业为主的企业。企业注册资本7083.3334万人民币。通过天眼查大数据分析,广东德智矩阵科技有限公司共对外投资了12家企业,参与招投标项目20次,财产线索方面有商标信息8条,专利信息44条,此外企业还拥有行政许可24个。

广东德智光学有限公司,成立于2024年,位于阳江市,是一家以从事仪器仪表制造业为主的企业。企业注册资本1250万人民币。通过天眼查大数据分析,广东德智光学有限公司财产线索方面有商标信息1条,专利信息18条,此外企业还拥有行政许可2个。

江苏德智半导体科技有限公司,成立于2021年,位于苏州市,是一家以从事批发业为主的企业。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析,江苏德智半导体科技有限公司财产线索方面有商标信息3条,专利信息13条,此外企业还拥有行政许可2个。

声明:市场有风险,投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成,仅供参考,不构成个人投资建议。

来源:市场资讯

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