成功逆向ASML 中国首台EUV光刻机原型机组装_资讯

创始人

2025-12-19 17:37:52

0次

据外媒报道，中国一家秘密实验室已经悄然组装出第一台EUV极紫外光刻系统的原型机，是通过逆向工程ASML现有的光刻机产品而来的，正处于秘密测试阶段，计划2028年试产原型芯片。

消息称，这一EUV光刻机原型是2025年初在深圳一处安保严密的设施内组装完成的，几乎覆盖了整个厂房。

这台光刻机没有采用清华大学研发的基于粒子加速器的稳态微聚束(SSMB)技术，也没有使用哈尔滨工业大学开发的放电等离子体(DPP)技术，而是和ASML Twinscan NXE系列光刻机相同的激光等离子体(LPP)技术，可产生波长为13.5纳米的极紫外光。

报道指出，中国版EUV光刻机的体积显著大于ASML同类产品，但已经具备极紫外光的生成能力，只是尚未能制造出可用芯片。中国EUV光刻机的研发团队由前ASML工程师和应届大学毕业生组成，不仅聘请了ASML中国分公司的前员工，还吸纳了ASML在美国、欧洲、中国台湾的前雇员。

关键瓶颈在于，中国仍无法复刻出ASML的高精度光学系统，甚至无法将极紫外光精准投射到晶圆上，更谈不上完成光刻成像。

视频截图开始录制

秘密稳态技术芯片中国原型机等离子体系统紫外光组装光刻机中国分公司

天津大学申请新能源储能构网变流... 国家知识产权局信息显示，天津大学;青海黄河上游水电开发有限责任公司;国家电投集团青海光伏产业创新中心...

To Anthropic：闭海... 文 | 数字力场，作者 | 佘宗明 Anthropic，活成了美版“孤勇者”。只不过，硅谷“复仇...

曦华科技申请触摸检测方法专利，... 国家知识产权局信息显示，深圳曦华科技股份有限公司、上海水木蓝鲸半导体技术有限公司、安徽曦合微电子有限...

贵州电网申请面向配电网备用电源... 国家知识产权局信息显示，贵州电网有限责任公司申请一项名为“面向配电网备用电源的快速切换控制方法、系统...

春光集团：电源产品包括IT周边... 证券之星消息，春光集团(301531)07月29日在投资者关系平台上答复投资者关心的问题。投资者：...

移动电源和钥匙不能放一起，会爆... 流言：移动电源和钥匙放一起会爆炸。网上有人分享自己充电宝爆炸的过程，呼吁道：充电宝千万不能和钥匙放...

阳光电源中标：中国电建华东院能... 证券之星消息，根据天眼查APP-财产线索数据整理，根据新能源工程院7月30日发布的《中国电建华东院能...

易事特中标：不间断电源(EA9... 证券之星消息，根据天眼查APP-财产线索数据整理，根据株洲中车时代电气股份有限公司绿能分公司7月29...

如何评估电催化剂性能？过电势、... 说明：本文详细介绍了评估电催化剂在析氧反应（OER）中基础电化学性能的关键测试方法，包括过电势、塔菲...

翔宇医疗获得外观设计专利授权：... 证券之星消息，根据天眼查APP数据显示翔宇医疗（688626）新获得一项外观设计专利授权，专利名为“...