成都思越智能装备申请方型晶圆传感器式定位系统专利,减少机械磨损和维护需求
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2025-12-09 19:06:38
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国家知识产权局信息显示,成都思越智能装备股份有限公司申请一项名为“方型晶圆传感器式定位系统”的专利,公开号CN121089646A,申请日期为2025年11月。

专利摘要显示,本发明涉及晶圆定位技术领域,具体涉及一种方型晶圆传感器式定位系统,包括:水平移动平台,且水平移动平台上承载有旋转平台;旋转平台上设置有多个晶圆定位针,用于承载方型晶圆;多个定位传感器固定设置在水平移动平台的外部,且位于水平移动平台外周的不同位置,用于检测方型晶圆对于定位传感器的实际覆盖距离;定位控制模块,根据实际覆盖距离以及预设的标准覆盖距离,确定方型晶圆的实际位置,控制水平移动平台进行水平移动和/或控制旋转平台进行转动。采用非接触式传感器检测,避免了传统机械式对准器中轴承、齿轮等部件的直接摩擦和磨损,降低因部件老化导致的维护频率和更换成本,减少机械磨损和维护需求。

天眼查资料显示,成都思越智能装备股份有限公司,成立于2018年,位于成都市,是一家以从事批发业为主的企业。企业注册资本3482.9732万人民币。通过天眼查大数据分析,成都思越智能装备股份有限公司共对外投资了3家企业,参与招投标项目119次,财产线索方面有商标信息4条,专利信息109条,此外企业还拥有行政许可18个。

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来源:市场资讯

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