中导光电申请亮暗场同时检测的光学系统专利,提高检测效率
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2025-12-08 18:38:18
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国家知识产权局信息显示,武汉中导光电设备有限公司申请一项名为“一种亮暗场同时检测的光学系统”的专利,公开号CN121068608A,申请日期为2025年11月。

专利摘要显示,本申请涉及一种亮暗场同时检测的光学系统,属于光学检测技术领域,包括成像单元,其包括沿光轴方向设置的物镜和筒镜;照明单元,其包括用于发出环形暗场光束的暗场照明模块,以及用于发出亮场光束的亮场照明模块;透反射单元,其包括设于物镜和筒镜之间的复合镜、与复合镜相互平行的二向色镜,以及环绕设于物镜外周的环形反射镜;本申请通过二向色镜和复合镜相互配合,能够将亮、暗场照明光路和成像光路合并在一起,实现暗场照明光和亮场照明光对被检目标表面不同区域的照明,从而实现高NA显微光学系统的亮、暗场同时扫描,简化了系统结构,降低了设备复杂度和制造成本,实现了对芯片亮暗场同时检测,提高了检测效率和操作便捷程度。

天眼查资料显示,武汉中导光电设备有限公司,成立于2013年,位于武汉市,是一家以从事研究和试验发展为主的企业。企业注册资本10000万人民币。通过天眼查大数据分析,武汉中导光电设备有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目5次,专利信息71条,此外企业还拥有行政许可3个。

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来源:市场资讯

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