中芯国际申请半导体结构及其形成方法专利,有利于保障半导体结构的质量
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2025-12-06 19:38:22
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国家知识产权局信息显示,中芯国际集成电路制造(上海)有限公司申请一项名为“半导体结构及其形成方法”的专利,公开号CN121076051A,申请日期为2024年6月。

专利摘要显示,一种半导体结构及其形成方法,形成方法包括:提供基底;在基底上形成阻挡层,阻挡层中形成有贯穿阻挡层且露出基底顶部的开口;在阻挡层上形成标记层,标记层中形成有第一标记凹槽和第二标记凹槽,第一标记凹槽环绕第二标记凹槽,且在纵向上,第一标记凹槽的投影在阻挡层中,第二标记凹槽的投影在开口中;沿第一标记凹槽和第二标记凹槽在纵向上进行图形传递至基底中,在基底中形成与第二标记凹槽对应的凹槽;在凹槽中形成第一标记层;在第一标记层周围的基底上方形成环绕第一标记层的第二标记层。本发明有利于保障半导体结构的质量。

天眼查资料显示,中芯国际集成电路制造(上海)有限公司,成立于2000年,位于上海市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本244000万美元。通过天眼查大数据分析,中芯国际集成电路制造(上海)有限公司共对外投资了4家企业,参与招投标项目127次,财产线索方面有商标信息150条,专利信息5000条,此外企业还拥有行政许可446个。

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来源:市场资讯

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