北方华创申请接地装置及半导体工艺设备专利，延长支撑组件的使用寿命_资讯

北方华创申请接地装置及半导体工艺设备专利，延长支撑组件的使用寿命

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2025-12-04 01:36:28

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国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“接地装置及半导体工艺设备”的专利，公开号CN121055052A，申请日期为2024年5月。

专利摘要显示，本发明提供一种接地装置及半导体工艺设备。接地装置包括接地环、测压组件、支撑组件和控制组件，接地环接地设置；支撑组件包括弹性件和驱动件，弹性件位于驱动件和接地环之间；驱动件连接于弹性件，以能够改变弹性件的形变量；测压组件连接于驱动件，用于测量驱动件向弹性件施加的实际压力；控制组件连接于测压组件和驱动件，用于在实际压力的数值超出预设范围时控制驱动件改变弹性件的形变量，以使接地环能够与位于接地环上方的上电极结构保持电连接，进而延长支撑组件的使用寿命。

天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目1275次，财产线索方面有商标信息67条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可340个。

声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。

来源：市场资讯

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