长江存储申请晶圆处理装置和晶圆处理设备专利,实现对三维存储器的处理
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2025-12-03 21:08:26
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国家知识产权局信息显示,长江存储科技有限责任公司申请一项名为“晶圆处理装置和晶圆处理设备”的专利,公开号CN121054518A,申请日期为2024年5月。

专利摘要显示,本公开提供了一种晶圆处理装置和晶圆处理设备,涉及半导体芯片技术领域。该晶圆处理装置包括:壳体、导流组件和承载台。壳体包括底壁,底壁上设置有第一通孔。导流组件设置在底壁的一侧,导流组件上间隔的设置有多个第二通孔,第二通孔沿第一方向贯穿导流组件,其中,第一方向垂直于底壁的延伸方向。承载台设置在导流组件背离底壁的一侧,其中,第一通孔的侧壁位于承载台的侧壁的内侧。上述晶圆处理装置应用于三维存储器中,以实现对三维存储器的处理。

天眼查资料显示,长江存储科技有限责任公司,成立于2016年,位于武汉市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本12469608.0404万人民币。通过天眼查大数据分析,长江存储科技有限责任公司共对外投资了3家企业,参与招投标项目1438次,财产线索方面有商标信息978条,专利信息5000条,此外企业还拥有行政许可995个。

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来源:市场资讯

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